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來源:貿(mào)易經(jīng)濟(jì)網(wǎng)時(shí)間:2023-06-20 14:03:38

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中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所

江西展宇新能源股份有限公司

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山東力冠微電子裝備有限公司

擴(kuò)散爐數(shù)據(jù)指標(biāo)

設(shè)備用途:用于大規(guī)模集成電路、電力電子、光電器件、光導(dǎo)纖維等行業(yè)的氧化、擴(kuò)散、燒結(jié)、合金等工藝。

設(shè)備特點(diǎn):?jiǎn)卧M合方式。根據(jù)工藝的不同,可以在主機(jī)的基礎(chǔ)上配氣源柜、超凈工作臺(tái)、懸臂推拉舟等。

主要技術(shù)指標(biāo):

爐管數(shù):1~4管

配工藝管口徑:Φ90~360 mm (3~12英寸)

恒溫區(qū)長(zhǎng)度:760~1000 mm±1.0℃ (300~800℃) 760~1000 mm±0.5℃(800~1280℃)

單點(diǎn)穩(wěn)定性:±1.0℃/24h (300~800℃) ±0.5℃/24h (800~1280℃)

氣源路數(shù): ≤7路,可配恒溫源瓶、氫氧合成點(diǎn)火器

氣體控制: 浮子/質(zhì)量流量計(jì)

懸臂舟參數(shù):速度: 20~1000 mm/min 行程:2000 mm 定位精度:±1 mm 載荷:17 Kg

超凈工作臺(tái):凈化等級(jí):100級(jí)(萬級(jí)廠房)

噪音: ≤62dB(A)

振動(dòng): ≤3μm

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